الوصف
معايرة معدل الترسيب بواسطة SEM
لمعايرة معدل الترسيب لأفلام SiNx و SiO2 ، تم اعتماد طريقتين. في الأول ، تم تصنيع ألياف مفردة متعددة الطبقات بطبقات متناوبة من SiNx و SiO2 مع زيادة أوقات الترسيب. في وقت لاحق ، تم طلاء العديد من الألياف بطبقة واحدة من SiNx أو SiO2. تمت معالجة صور SEM للأفلام المطلية للحصول على معدل الترسيب.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.